سنسور فشار نوعی سنسور فشار است که می تواند در زمینه های فولادی ، شیمیایی و سایر زمینه ها برای اندازه گیری فشار مورد استفاده قرار گیرد و می تواند کنترل فشار خودکار را هنگام استفاده از همراه با تنظیم کننده فشار تحقق بخشد.
سنسور فشار سیلیکون انتشار /معرفی به اصل
سنسور فشار سیلیکون انتشار مبتنی بر اصل اثر پیزورزیست ، با استفاده از فناوری فرآیند یکپارچه از طریق دوپینگ و انتشار ، در امتداد جهت کریستال مشخصه در ویفر سیلیکون تک کریستال ، برای ایجاد یک پل سنگ گندم برای تشکیل یک یکپارچه سازی یکپارچه است. با استفاده از خصوصیات مکانیکی الاستیک از مواد سیلیکون ، سیلیون آنوتروپیک انجام می شود. تشخیص نیرو و تبدیل نیرو و برقی ساخته شده است.
فشار سنسور فشار سیلیکون پراکنده به طور مستقیم بر روی دیافراگم سنسور (فولاد ضد زنگ یا سرامیک) عمل می کند و باعث می شود دیافراگم متناسب با فشار محیط ایجاد کند و مقدار مقاومت سنسور تغییر کند. مدار الکترونیکی این تغییر را تشخیص داده و آن را تبدیل می کند. یک سیگنال اندازه گیری استاندارد مربوط به این فشار خروجی است.
ویژگی های سنسور فشار سیلیکون انتشار
1. مناسب برای تهیه فرستنده های در مقیاس کوچک
اثر پیزوره ای مقاومت حساس به نیرو تراشه سیلیکون در محدوده کم در نزدیکی نقطه صفر هیچ منطقه مرده ای ندارد و دامنه سنسور فشار می تواند به اندازه چندین kPa باشد.
2. حساسیت خروجی بالا
ضریب حساسیت مقاومت در برابر کرنش سیلیکون 50 تا 100 برابر بیشتر از اندازه گیری فشار فلزی است ، بنابراین حساسیت سنسور مربوطه بسیار زیاد است ، و بازده دامنه کلی حدود 100mV است. بنابراین ، الزامات خاصی برای مدار رابط وجود ندارد ، و استفاده از آن راحت تر است.
3. دقت بالا
از آنجا که سنجش ، تبدیل حساس و تشخیص سنسور توسط همان مؤلفه تحقق می یابد ، هیچ پیوند تبدیل واسطه ای وجود ندارد و خطاهای تکرار شونده و هیسترزیس اندک است. از آنجا که خود سیلیکون مونوکریستالی از استحکام بالایی برخوردار است و تغییر شکل کمی دارد ، خطی خوب تضمین می شود.
4. از آنجا که تغییر شکل یکجنسگرا از کار به اندازه سفارش میکرو فشار کم است ، حداکثر جابجایی تراشه الاستیک به ترتیب زیر میکرون است ، بنابراین هیچ سایش ، خستگی ، پیری وجود ندارد و طول عمر آن به اندازه چرخه فشار 1 × 107 ، با عملکرد پایدار و قابلیت اطمینان بالا است.
5. با توجه به مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی عالی سیلیکون ، حتی سنسورهای فشار سیلیکون پراکنده غیر جدا شده توانایی سازگاری با رسانه های مختلف را به میزان قابل توجهی دارند.
6. از آنجا که تراشه یک فرآیند یکپارچه را اتخاذ می کند و هیچ مؤلفه انتقال ندارد ، از نظر اندازه و وزن کم است.
اقدامات احتیاطی سنسور فشار سیلیکون انتشار برای استفاده
1. هنگامی که بیش از حد یا زیر برد انتخاب شده است ، دامنه باید در 30 ٪ FS کنترل شود.
2. حالت فشار به فشار سنج ، فشار مطلق و فشار آب بندی تقسیم می شود که با توجه به نیازها می توانند به طور منطقی انتخاب شوند.
3. حداکثر اضافه بار سیستم را تأیید کنید. حداکثر بار بیش از حد سیستم باید کمتر از حد حفاظت بیش از حد سنسور باشد ، در غیر این صورت بر عمر خدمات محصول تأثیر می گذارد و حتی به محصول آسیب می رساند.
4- دیافراگم را با هیچ اشیاء سخت لمس نکنید ، در غیر این صورت باعث پارگی دیافراگم می شود.
5- مواد و فرآیند تولید هسته فشار منفی برابر با فشار مثبت نیست ، بنابراین هسته فشار منفی را نمی توان با هسته فشار سنج جایگزین کرد.
6. لطفاً قبل از نصب ، دفترچه راهنمای دستورالعمل را با دقت بررسی کنید تا از آسیب به محصول ناشی از نصب اشتباه جلوگیری کنید.
7.IMPROPER استفاده می تواند منجر به خطر و آسیب شخصی شود.
8. هسته از محفظه بیرون کشیده می شود و کشیدن سیم ها و پاهای لوله ممنوع است.
برنامه های سنسور فشار سیلیکون انتشار
سنسورهای فشار سیلیکون انتشار عمدتاً در سیستم های کنترل فرآیند ، ابزارهای کالیبراسیون فشار ، سیستم های هیدرولیک ، ابزارهای زیست پزشکی ، سیستم های هیدرولیک و دریچه ها ، اندازه گیری سطح مایع ، تجهیزات تبرید و صنایع کنترل HVAC استفاده می شوند. می توان گفت که کلیه صنایع با نیاز به اتوماسیون بالا ، ممکن است از سنسورهای فشار سیلیکون پراکنده استفاده کنند.
زمان پست: 15-2022 اوت